@InProceedings{SantosMell:2016:DEFIFI,
author = "Santos, Michelle dos and Mello, Carina Barros",
affiliation = "{Universidade Federal de S{\~a}o Paulo (UNIFESP)} and {Instituto
Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)}",
title = "DEPOSI{\C{C}}{\~A}O DE FILMES FINOS COMPOSTOS DE Cr-N POR MEIO
DE IMPLANTA{\C{C}}{\~A}O I{\^O}NICA POR IMERS{\~A}O EM PLASMA
E DEPOSI{\C{C}}{\~A}O (3IP\&D) REATIVA",
year = "2016",
organization = "Semin{\'a}rio de Inicia{\c{c}}{\~a}o Cient{\'{\i}}fica e
Inicia{\c{c}}{\~a}o em Desenvolvimento Tecnol{\'o}gico e
Inova{\c{c}}{\~a}o (SICINPE)",
publisher = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais",
address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos, SP",
note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
abstract = "Este trabalho, iniciado em agosto de 2015, teve como objetivo a
modifica{\c{c}}{\~a}o das propriedades superficiais de
a{\c{c}}o carbono SAE1070, sendo o objetivo espec{\'{\i}}fico a
forma{\c{c}}{\~a}o de filmes de nitreto de cromo, pelo
m{\'e}todo de implanta{\c{c}}{\~a}o i{\^o}nica por
imers{\~a}o em plasma e deposi{\c{c}}{\~a}o (3IP\&D) reativa,
com as seguintes propriedades: elevada dureza, resistentes {\`a}
corros{\~a}o, oxida{\c{c}}{\~a}o e desgaste e fortemente
aderidos {\`a} superf{\'{\i}}cie, de modo a melhorar as
propriedades superficiais do a{\c{c}}o. Os filmes foram obtidos a
partir de uma mistura gasosa precursora composta de
Nitrog{\^e}nio (N2) e Arg{\^o}nio (Ar) com varia{\c{c}}{\~a}o
de fluxo. O primeiro experimento foi realizado com uma
propor{\c{c}}{\~a}o dos gases de 1:1 mantendo um fluxo de 5 sccm
para ambos, em um segundo experimento aumentou-se a
propor{\c{c}}{\~a}o de N2 (g), mantendo uma rela{\c{c}}{\~a}o
de 2:1, com um fluxo de 10 sccm de N2 (g) e 5 sccm de Ar (g) e em
um terceiro experimento realizou-se uma mistura de 1:2 em
rela{\c{c}}{\~a}o a Ar (g), com um fluxo de 5 sccm de N2 (g) e
10 sccm de Ar (g). A press{\~a}o de trabalho em ambos os
experimentos foi mantida pr{\'o}ximo de 3x10-2 mbar. Foi aplicada
uma pot{\^e}ncia em torno de 200 W no magnetron sputtering e ao
mesmo tempo pulsos de alta tens{\~a}o negativa de 4 kV com
corrente de 3,5 A (primeiro experimento) e 4,5 A (segundo e
terceiro experimento), com frequ{\^e}ncia de
repeti{\c{c}}{\~a}o de 500 Hz e largura de pulso de 20
\μs, foram aplicados no tubo/porta amostra. O tempo total
para a implanta{\c{c}}{\~a}o dos {\'{\i}}ons e
deposi{\c{c}}{\~a}o foi de 60 minutos. Ap{\'o}s a
obten{\c{c}}{\~a}o dos filmes, foi realizada a espectroscopia de
fotoel{\'e}trons excitados por raios-X, que possibilitou a
identifica{\c{c}}{\~a}o de nitreto de cromo, os quais
apresentaram crescimento colunar nos dois primeiros experimentos
de acordo com as an{\'a}lises realizadas por meio de microscopia
de for{\c{c}}a at{\^o}mica. Com os resultados obtidos, pode ser
conclu{\'{\i}}do que a associa{\c{c}}{\~a}o das t{\'e}cnicas
de deposi{\c{c}}{\~a}o por magnetron sputtering e
implanta{\c{c}}{\~a}o i{\^o}nica por imers{\~a}o em plasma
mostrou-se bastante efetivo na forma{\c{c}}{\~a}o de filmes
compostos aderidos {\`a} superf{\'{\i}}cie das amostras. Os
resultados dos ensaios tribol{\'o}gicos mostraram que o filmes
produzidos apresentam maior coeficiente de atrito em
rela{\c{c}}{\~a}o ao substrato sem filme, entretanto apresentam
baixo volume de material perdido por desgaste, mostrando boa
resist{\^e}ncia ao desgaste. Para dar continuidade a este projeto
de Inicia{\c{c}}{\~a}o Cient{\'{\i}}fica est{\~a}o
programadas as atividades: Ensaios de corros{\~a}o;
determina{\c{c}}{\~a}o da propor{\c{c}}{\~a}o ideal de
nitrog{\^e}nio e arg{\^o}nio; prepara{\c{c}}{\~a}o e
execu{\c{c}}{\~a}o de novos experimentos de
implanta{\c{c}}{\~a}o i{\^o}nica e deposi{\c{c}}{\~a}o,
tratamento das superf{\'{\i}}cies met{\'a}licas e
verifica{\c{c}}{\~a}o de resultados te{\'o}ricos.",
conference-location = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos, SP",
conference-year = "25-26 jul.",
language = "pt",
ibi = "8JMKD3MGP3W34P/3N5NFML",
url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34P/3N5NFML",
targetfile = "Santos_deposicao.pdf",
urlaccessdate = "27 abr. 2024"
}